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    S1000 放大倍率標準樣品(掃描電鏡、電子探針)
    產品簡介:該標樣用于掃描電鏡(包括電子探針等)儀器主要性能的校驗和檢驗,如圖像的放大倍率檢驗與調整、掃描圖像畸變的調整、像散調節以及樣品臺的復位檢驗等,是掃描電鏡儀器驗收、儀器年度檢驗、計量認證、實驗室認可等考核中,最必不可少的標準樣品。同時,該標準樣品也是掃描電鏡微米納米長度精確測量的最佳標準樣品、是微米長度測量的最高可溯源級別的量值傳遞工具。是多個國家標準文件GB/W 27788、16594、17722、20307、JJG550等實施所必需的標準樣品。
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     > >  特點:

    1、擁有最現代的加工工藝,研制技術本身具有足夠的精度等保證其質量
    2、底層鍍有純鈦層,表面有120nm厚的Au膜,可稱之為擁有特厚金層,不僅可長
    期穩定保存,而且具有極其良好的導電性
    3、具有格柵狀雙向結構,與早期使用的初級銅網結構相似,   是國內外唯一的可以同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡、電子探針的圖像的放大倍率進行檢查或校正的標樣
    4、有德國PTB國際最權威的計量型原子力顯微鏡的測量研究報告和研制者的研制報告正式發布(見“掃描電鏡測長問題的討論”一書),即采用目前精度最好、可溯源的檢測方法,有可靠的文獻依據
    5、S1000曾經過我國國家計量研究院的多次檢驗測試,并多次獲得合格證書;
    6、S1000早在2005年通過全國微束標委會的有關專家評審通過,具備報批國家標準樣品的資格,并且已經過眾多用戶近十年的使用,證明其質量優良
    7、公開出版的“掃描電鏡測長問題的討論”專著實際上是一本S1000的綜合性的研制報告;這也是這類標樣中的唯一;
    8、價格低廉,易于保存、易于普及到每個掃描電鏡和電子探針實驗室
    9、功能多,用途多
    (1)可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進行檢查或校正,是校準從10×~100.000×及以上范圍的圖像放大倍率的最有效的圖形標準樣品:是執行GB/T27788“微束分析一掃描電鏡一圖像放大倍率校準導則”一個精準的校準標樣
    (2)可直接用于同一量級物體,毫米量級到納米量級長度的精確比對測量,是執行GB/T16594和GB/T20307微米和納米測量的一個不能缺少的精準的度量工具
    (3)可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進行校驗,是評價掃描電鏡圖像質量的一個重要工具
    (4)對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉調整功能的檢驗也有較好的作用

    (5)利用標樣上的“點子”圖像,可對電子束作漂移檢驗和樣品臺復位檢驗

    用途:
    (1)可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進行檢查或校正,是校準從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的最有效的圖形標準樣品
    (2)可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進行校驗,是評價掃描電鏡圖像質量的個重要工具
    (3)可直接用于同一量級物體長度的精確比對測量
    (4)對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉調整功能的檢驗也有較好的作用
    (5)利用標樣上的“點子”圖像,可對電子束作漂移檢驗和樣品臺復位檢驗

    標準樣品的形狀、規格和包裝:
    S1000微米一亞微米級系列標樣,總體為5mm×5mm0.5mm(長×寬×厚)大小的小方塊。主體圖形為一個“回”字形的方框,最外框邊長約為2mm,內框的邊長約為12mm,內框里面用X、Y軸分為4個象限,X、Y軸上制作有垂直坐標軸方向的線距20um的短平行線條,4個象限上分別是線距為40um、20um10um的方格網狀圖形和線距為5um的X、Y雙向平行線條圖形,內框的中部又是“回”字形的方框,大框的邊長約為160m,小框邊長約50um,大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5um的平行線條,小框里面是線距為1um或05um的X、Y雙向平行線條圖形(見圖1),在5m和1um或05um的線距結構上還有一些十字形和圓點,可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調整,不同的線距大小可用于從10×~10000放大倍率范圍的校準,而把40um、20μm和10um的線距結構設計成方格形,是為了在對放大倍率進行準確校準的同時,可以對圖像的畸變、像散等進行校驗,5μm的線距結構也同時具有X、Y兩個方向的平行線條,是為了方便同時對X、Y兩個方向進行放大倍的準而不必機械旋轉標準器。
    標準樣品的穩定性:
    標準樣品基質材料為單晶硅或石英玻璃基片,材料性質穩定。在對標準樣品進行觀察時,可看到標準樣品具有良好的導電性,并且在掃描電鏡下所產生的圖形具有很好的對比度,在掃描電鏡下或光學顯微鏡下進行多次長時間的觀察后,未見標準樣品圖形或線距結構發生變形或其他損壞,即標準樣品在電子束重復照射下是穩定的。

    標準樣品的均勻性
    本系列標準樣品的片內線距均勻性由德國聯邦物理研究所(PTB)使用一臺大范圍計量型掃描力顯微鏡( M-LRSFM進行測量,40um、20um、10um和5um的線距結構的相對標準偏差分別為<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和<1%;片間線距的均勻性送國家有色金屬及電子材料分析測試中心掃描電鏡實驗室進行檢查,隨機取10個標準樣品,在相同掃描電鏡工作條件下獲取每個標準樣品上每種線距結構的圖像,在每個圖像上的不同位置取若干個線距周期測量4個長度數據,

    其測量結果標準偏差分別為:<0.39%、<0.19%、<0.21%和<0.19%
    標準值和置信限:

    本系列標準樣品的線距值由德國聯邦物理研究所(PTB)使用一臺大范圍計量型掃描力顯微鏡(M- LRSFM)進行測量,測量結果可直接溯源至米定義計量基準。各線距結構的測量值分別為:400006±42nm(X方向)、400018±4.2nm(Y方向)、200004±1.8nm(X方向)、200000±1.8nm(Y方向)、100002±0.5mm(X方向)、100000±0.5mm(Y方向)、500000.6mm(X方向)、50003±0.6mm(Y方向)、1000.4±0.7nm(X方向)1000.4±0.7mm(Y方向),置信限為95%,k=2。

    測試:

    測量范圍:線間隔結構—(0-50)μm

    不確定度/準確度等級:U=(1+2*10-3*p)nm,k=2(P-nm)

    樣板外觀:良好

    測量方位:對樣塊中指定量值的柵格間距區域,進行多次重復測量

    測量區域

    A

    B

    C

    D

    E1

    E2

    標稱值/μm

    40

    20

    10

    5

    2

    1

    X方向校準值/nm

    39993

    20052

    10011

    5033

    1998

    994

    Y方向校準值/nm

    40074

    20049

    10000

    5042

    2003

    1001

    95/nm

    50

    31

    11

    8

    4

    2

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